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AZO靶
AZO
(Aluminum Znic Oxide Target)靶材:是铝锌氧化物靶材,是一种导电镀膜材料,AZO 薄膜由于具备材料无毒性、制备温度低、工艺相对简单、易于实现掺杂等特点,被广泛应用到平板显示、太阳能电池、光电器件、防辐射领域等。
AZO靶材的指标
Density: ≥97%
Purity: ≥99.95%
Size:280×150 ×Th.mm
Color:Dark-Green
靶材体积电阻率:5×10
- 4
Ω ·cm
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